close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

2007071272&KIND=A1.

код для вставкиСкачать
Patent Translate
Powered by EPO and Google
Уведомление
Этот перевод сделан компьютером. Невозможно гарантировать, что он является ясным,
точным, полным, верным или отвечает конкретным целям. Важные решения, такие как
относящиеся к коммерции или финансовые решения, не должны основываться на продукте
машинного перевода.
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ US2007071272
ФОН
[0001]
Настоящие варианты осуществления относятся к емкостным мембранным ультразвуковым
преобразователям (cMUT). CMUT включает в себя массив элементов. Каждый элемент
включает в себя множество ячеек микроэлектромеханических устройств, таких как
мембраны со связанной камерой или зазором. Мембраны лежат в плоскости вдоль
излучающей поверхности элемента. Электроды расположены рядом с мембраной и вдали
от мембраны в камере. В ответ на переменный электрический потенциал мембраны
изгибаются в плоскости или из плоскости, вызывая волны разрежения и давления, которые
распространяются вдоль размера диапазона, ортогонального плоскости. В ответ на
акустические волны мембраны изгибаются, вызывая изменения электрического потенциала
между электродами.
[0002]
CMUT может генерировать давление в дальнем поле 1 МПа при 10 МГц с пиковым
отклонением мембраны или диафрагмы около 0,03 мкм. Низкочастотные, более мощные
приложения, такие как пузырьковая вспышка или гармоническое изображение, могут
работать при 3 МПа на частоте 1 МГц. При этих давлениях пик мембранного отклонения
может составлять около 1 мкм или более. CMUT и связанные с ним мембраны могут быть
24-02-2019
1
не в состоянии удовлетворить такое требование высокого давления.
КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ
[0003]
В качестве введения предпочтительные варианты осуществления, описанные ниже,
включают в себя способы, системы и преобразователи для ультразвукового
преобразователя с емкостной мембраной. Мембраны или другие
микроэлектромеханические устройства имеют геометрию 3-1, что позволяет прикладывать
электрическое поле, по существу, перпендикулярное размеру диапазона. Мембраны
находятся на множестве различных соответствующих плоскостей, более параллельных,
чем перпендикулярных друг другу, и плоскости являются более перпендикулярными, чем
параллельными граням элементов или преобразователя.
[0004]
В первом аспекте предусмотрен ультразвуковой преобразователь для передачи или приема
акустической энергии на гранях элементов, распределенных по существу по азимуту и / или
измерениям высоты. Множество мембран находится на множестве различных
соответствующих плоскостей, более параллельных, чем перпендикулярных друг другу.
Плоскости более перпендикулярны, чем параллельны граням. Проводящие поверхности
находятся по существу на мембранах и / или параллельны им.
[0005]
Во втором аспекте ультразвуковой преобразователь с емкостной мембраной имеет
излучающую поверхность, по существу, перпендикулярную измерению диапазона. Размер
диапазона соответствует направлению сканирования нижнего диапазона. Улучшение
включает в себя геометрию моды 3-1 по меньшей мере одной емкостной мембраны.
[0006]
24-02-2019
2
В третьем аспекте предложен способ генерации акустической энергии вдоль измерения
диапазона. Электрическое поле прикладывается к микроэлектромеханическому
преобразователю. Электрическое поле прикладывается, по существу, параллельно
плоскости, по существу, ортогональной к измерению диапазона. Акустическая энергия
генерируется по существу вдоль измерения диапазона в ответ на приложенное
электрическое поле.
[0007]
Настоящее изобретение определяется следующей формулой изобретения, и ничто в этом
разделе не должно рассматриваться как ограничение этих пунктов формулы изобретения.
Дополнительные аспекты и преимущества изобретения обсуждаются ниже в связи с
предпочтительными вариантами осуществления и могут быть позже заявлены независимо
или в комбинации.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ РИСУНКОВ
[0008]
Компоненты и чертежи не обязательно выполнены в масштабе, вместо этого акцент сделан
на иллюстрации принципов изобретения. Кроме того, на чертежах одинаковые ссылочные
позиции обозначают соответствующие части на разных видах.
[0009]
ИНЖИР. 1 представляет собой вид в перспективе одного варианта осуществления
ультразвукового преобразователя;
[0010]
ИНЖИР. 2 является графическим представлением одного варианта осуществления части
cMUT;
[0011]
24-02-2019
3
На фиг. 3А-С - примерные частичные поперечные разрезы линейных гребней с различной
массовой нагрузкой и конструкциями;
[0012]
ИНЖИР. 4 представляет собой вид в перспективе другого варианта осуществления части
cMUT;
[0013]
На фиг. 5 и 6 - вид в перспективе других вариантов осуществления частей компьютера;
[0014]
ИНЖИР. Фиг.7 - графическое представление постмембран мод 3-1 в положениях сжатия и
разрежения;
[0015]
ИНЖИР. 8 является блок-схемой последовательности операций одного варианта
осуществления способа для генерации акустической энергии по измерению диапазона с
cMUT в режиме 3-1; а также
[0016]
ИНЖИР. 9 является графическим представлением изгиба мембраны как функции
приложенного напряжения.
ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ И НАСТОЯЩЕГО ПРЕДПОЧТИТЕЛЬНЫХ
ВАРИАНТОВ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
[0017]
Ориентация мембран cMUT, в общем, обращена друг к другу, позволяет большой площади
мембраны концентрировать общее смещение в небольшой выходной области.
Излучающая апертура приблизительно перпендикулярна вибрирующим диафрагмам.
24-02-2019
4
Приложенное электрическое поле и результирующее движение могут быть в плоскости,
перпендикулярной направлению диапазона, что приводит к отклонению от окружающей
среды.
Большие смещения и / или давления могут создаваться при меньших приложенных
напряжениях по сравнению с мембранами, уложенными в одной плоскости.
Сгибая элементы cMUT или расширяя мембраны иным способом вглубь подложки, выход
концентрируется.
[0018]
ИНЖИР. На фиг.1 показан один из вариантов осуществления ультразвукового
преобразователя 12 для передачи или приема акустической энергии на поверхности 14
элементов 16, распределенных по существу по азимуту 18 и / или по высоте 20.
Преобразователь 12 представляет собой емкостный мембранный ультразвуковой
преобразователь.
Могут быть использованы другие микроэлектромеханические структуры, такие как гибкие
балки.
Преобразователь 12 представляет собой полупроводниковую подложку, обработанную с
использованием КМОП или других процессов для формирования мембран или других
структур.
Могут быть использованы другие микроэлектромеханические процессы, известные в
настоящее время или разработанные позднее. Задний блок, соответствующие слои, линза
или другие слои также могут быть предусмотрены.
24-02-2019
5
[0019]
Элементы 16 распределены в виде одного, 1,25D, 1,5D, 1,75D, 2D или другого многомерного
массива. В качестве альтернативы предусмотрен единственный элемент 16.
Распределение матрицы определяет излучающую грань, по существу, ортогональную или
перпендикулярную к размеру 22 диапазона. Для изогнутых решеток размер 22 диапазона
ортогонален одному местоположению излучающей грани и по существу ортогональн к
другим местоположениям. Акустическая энергия, генерируемая элементами 16,
распространяется вдоль измерения 22 диапазона, но также распространяется по существу
в измерении 22 диапазона, расходясь в виде волнового фронта или путем
целенаправленного сканирования в формате сектора или вектора (R). Посредством
передачи по существу по измеренному диапазону 22 направление нижнего диапазона
сканируется для медицинской диагностической ультразвуковой визуализации, терапии или
других ультразвуковых целей.
[0020]
Элементы 16 включают микроэлектромеханические структуры. ИНЖИР. 2 показан один
вариант осуществления элемента 16. Элемент 16 включает в себя множество мембран 30
вдоль линейных выступов 32, подложку 34, концевую пластину 36, вентиляционные
отверстия 38, камеры 40 и наполнитель 42. Могут быть предусмотрены дополнительные,
отличающиеся или меньшие компоненты, такие как другая концевая пластина 36,
дополнительно охватывающая камеры 40. Предусмотрено любое количество мембран 30,
например одна или несколько. Там, где камеры 40 содержат вакуум, вентиляционные
отверстия 38 могут быть не предусмотрены.
[0021]
Мембраны 30 находятся в геометрии режима 3-1. Мембраны 30 находятся в плоскости,
более параллельной, чем ортогональная измерению 22 диапазона. Мембраны 30 по
существу обращены друг к другу. Использование термина «по существу» здесь учитывает,
что мембраны 30 находятся под углом для направления акустической энергии или
обеспечения компонента дальности непосредственно для генерируемой акустической
энергии. Мембраны 30 находятся в разных плоскостях более параллельно, чем
перпендикулярно друг другу. Плоскости более перпендикулярны, чем параллельны граням
14.
24-02-2019
6
[0022]
ИНЖИР. 2 показывает мембраны 30 как стороны линейных выступов 32. Каждый линейный
гребень 30 образует две из мембран 30 и камеру 40. Линейные гребни 32 или другая
микроэлектромеханическая структура формируются с использованием
микроэлектромеханических процессов, таких как процессы производства полупроводников.
Используя КМОП, нанесение, распыление, нанесение рисунка, травление или другие
методы, формируются различные компоненты, включая электрические соединения на или в
подложке 34. Подложка 34 представляет собой полупроводник, такой как кремний, или
другой известный в настоящее время или разработанный позднее материал для
формирования линейных выступов 32, мембран 30 или другой структуры. Подложка 34
является плоской или изогнутой, такой как травление подложки и формирование
микроэлектромеханических структур для обеспечения изогнутой матрицы элементов 16.
[0023]
Линейные гребни 32 могут иметь массовую нагрузку и оконечность апертуры для
управления резонансной частотой. На фиг. 3А и 3В показаны две разные формы вершин
линейных гребней 32. Могут быть использованы другие формы, такие как отсутствие или
меньшая загрузка массы. Форма, плотность и / или масса могут использоваться для
обеспечения резонансной частоты мембран 30, которая находится на, около или чуть выше
вероятной или предполагаемой частоты работы. Толщина и другие размеры мембран 30
также контролируют акустические или трансдукционные характеристики. Мембраны 30
являются тонкими, такими как примерно от 1 до 0,01 микрометра, но можно использовать
более толстые или более тонкие мембраны 30. Может быть обеспечена равномерная
толщина или изменение толщины. Например, мембрана 30 является более тонкой на дне
или вблизи подложки 34.
[0024]
Каждая камера 40 удерживает объем газа с одним или несколькими вентиляционными
отверстиями 38 или поддерживает вакуум без вентиляционных отверстий. Вентиляционные
отверстия 38 являются небольшими или большими по отношению к ширине камеры 40 и
выпускают сжатый или разреженный газ от излучающей поверхности. Камера 40 является
24-02-2019
7
тонкой, такой как приблизительно от 1 до 0,005 микрометров. Могут быть предусмотрены
более широкие или более тонкие зазоры 28. Камера 40 может варьироваться по ширине,
например быть более узкой вблизи верхней или нижней части, или может иметь одинаковую
ширину. Концевые пластины 36 на обоих концах линейных выступов 32 дополнительно
закрывают камеру, избегая акустических перекрестных помех между элементами и
акустических эффектов в сканируемой области из-за разрежения и сжатия воздуха на
концах линейных выступов 32. В альтернативных вариантах осуществления линейные
гребни 32 имеют закрытые концы без пластины или имеют, по меньшей мере, частично
открытые концы.
[0025]
На фиг. 3C и 4 показан альтернативный вариант выполнения линейных выступов 32.
Линейные гребни 32 накрывают и отстоят от балок 46. Балки 46 проходят вдоль всего или
только части линейного гребня 32. Внутри камеры 40 может быть предусмотрено множество
или разные балки 46. Вентиляционные отверстия 38 расположены рядом с балками 46 или
через них. Балки 46 отстоят от мембран 30 вдоль большей части, меньшинства, одной
точки, одной линии или над большей частью поверхности мембран 30. Лучи 46 отстоят от
мембран 30, чтобы избежать коллапса, например от 1 до 0,5 микрон.
[0026]
В альтернативном варианте осуществления балки 46 расположены достаточно близко, по
меньшей мере, к одному месту на мембране 30, например к центру мембраны 30, чтобы
обеспечить разрушение в ответ на достаточно сильные акустические эхо-сигналы.
Например, луч 46 и мембрана 30 разнесены примерно на 0,5-0,005 мкм. Можно
использовать другой интервал. Коллапс во время работы может использоваться для
ограничения амплитуды аналоговой информации. В качестве альтернативы, коллапс
используется для работы мембраны 30 в качестве цифрового датчика, имеющего коллапс и
не коллапсированные состояния. Например, структуры или способы, описанные в патенте
США No. № ______ (Публикация № ______ (Заявка № ______ (Досье адвоката №
2005P05011US))), раскрытие которого включено в настоящий документ посредством ссылки.
Кодер (например, детектор 48 на фиг.1) соединяется с балками 46 или мембранами 30.
Кодер выводит цифровую информацию как функцию сжатия, открывания или операции
сжатия и открытия мембран 30 в ответ на акустические эхо-сигналы.
24-02-2019
8
[0027]
На фиг. 5-7 показывают альтернативный вариант для геометрии мембраны 3-1. Мембраны
30 предусмотрены на сторонах столбов 50. Каждый столб 50 имеет три или более сторон,
обеспечивая три или более мембран 30 на столбчатой структуре. Например, шестигранный
столб 50 содержит шесть мембран 30. В качестве другого примера, предусмотрены четыре
стороны с или без надреза угла, чтобы способствовать перемещению мембраны 30.
ИНЖИР. На фиг.7 показаны стойки 50 с зубчатыми углами. Мембраны 30 движутся частично
или полностью за счет расширения и сжатия выемок. Альтернативно или дополнительно,
мембраны 30 изгибаются или изгибаются, тогда как углы или края мембран 30 относительно
неподвижны. Мембраны 30 могут быть тоньше, чем кромки, чтобы обеспечить большую
гибкость на меньшей площади поверхности. Движение мембраны 30 происходит в ответ на
акустическую энергию или изменения электрического потенциала.
[0028]
ИНЖИР. На фиг.5 показаны стойки 50, расположенные над подложкой 34, для
преобразования акустических волн на внешние стороны стойки 50. В альтернативном
варианте, показанном на фиг. 6, вентиляционные отверстия 38 позволяют использовать
акустическую дисперсию от камер 40 в стойках 50 для трансдукции. Подложка 34
предусмотрена вдоль излучающей поверхности 14. Линейные выступы 32 или другая
структура, обеспечивающая геометрию мембраны в режиме 3-1, может использоваться
аналогичным образом.
[0029]
Наполнитель 42 представляет собой гибкий, по существу несжимаемый материал между
мембранами 30. Наполнителем 42 является вода, водоподобный материал, другая
жидкость, несжимаемый эластомер или другой материал. Наполнитель 42 акустически
согласован с согласующим слоем, объектом для сканирования, мембранами 30 или имеет
другой акустический импеданс. Когда мембраны 30 движутся, несжимаемый материал
ограничивает движение мембран 30 и / или перемещается в другое место. Например, в
качестве мембран 30 на линейных выступах 32 на фиг. 2, перемещаясь вместе,
наполнитель 42 на излучающей поверхности 14 вздувается вверх, способствуя генерации
акустической энергии. По мере того как мембраны 30 движутся в стороны или по
направлению к камерам 40, наполнитель 42 движется вниз. В альтернативных вариантах
24-02-2019
9
осуществления предоставляется сжимаемый наполнитель 42.
[0030]
Мембраны 30 трансдуцируют с использованием проводящих поверхностей, таких как
емкостные мембраны. Проводящие поверхности находятся по существу на мембранах 30
или параллельны им. Например, проводящие поверхности представляют собой электроды,
нанесенные или сформированные на мембранах 30 и / или других структурах. В качестве
другого примера, проводящие поверхности на мембранах 30, балки 46 или другая структура
представляют собой мембраны 30, балки 46 или другую структуру. Мембраны 30 могут быть
легированы кремнием для обеспечения проводимости. Можно использовать комбинации
легирования и электродов. Подложка 34, примыкающая к мембранам 30, выполнена из
диоксида кремния или другого непроводящего материала, чтобы изолировать проводящие
линейные гребни 32 и / или мембраны 30.
[0031]
Различия в потенциале между двумя мембранами 30, мембраной 30 и балкой 46 или
мембраной 30 и другой структурой создают механическое смещение или акустические
волны. На фиг. 2, каждый другой линейный гребень 32 имеет разные электрические
соединения и связанный потенциал. Например, каждый другой линейный гребень 32 и
соответствующие мембраны 30 заземлены или подключены к одному каналу, а другие
линейные гребни 32 и связанные мембраны 30 подключены к сигнальному каналу для
операции передачи или приема. На фиг. 7, каждый второй пост 50 в схеме шахматной доски
соединяется с разными каналами для разных потенциалов. На фиг. 4, 3C или фиг. 7 с
балками 46 в стойках 50, каждый линейный гребень 32 или стойка 50 имеет одинаковый
электрический потенциал, такой как заземленный, и каждый луч 46 имеет одинаковый
электрический потенциал, отличный от электрического потенциала линейных гребней 32,
например подключен к сигнальному каналу.
[0032]
В одном варианте осуществления мембраны 30 перемежаются с негибкими, по существу
негибкими или гибкими балками 46 или другими мембранами 30. Любая другая структура,
такая как каждая мембрана 30, заземлена. На каждой стороне мембран 30 находится балка
24-02-2019
10
46 или другая мембрана 30. Чередующиеся электрические полярности переменных
электрических сигналов подаются на лучи 46 или другие мембраны 30. Противоположные
балки 46 воздействуют на мембрану 30 в одном и том же направлении, например, одно
натяжение, а другое толкает мембрану 30. Мембрана 30 движется или изгибается назад и
вперед в ответ на различные потенциалы. Резистор, достаточно большой, чтобы
предотвратить значительное изменение фиксированного потенциала на мембране 30,
соединяется с мембраной 30. В качестве альтернативы используется электрет. Балки 46 и
мембраны 30 по существу параллельны друг другу, например слегка наклонены.
[0033]
В тех случаях, когда мембраны 30 рассчитаны на меньшую чувствительность, но большую
генерацию акустической силы, операция приема обеспечивается или поддерживается с
помощью узорной пленки из пьезоэлектрического материала, прилегающей к граням 14.
Например, пленка p (VDF-TFE) растягивается на cMUT 12. Структура соответствует тем же
или другим элементам 16, чем для преобразователя 12. Пленка превращается из
акустических волн в электрическую энергию. Могут быть использованы другие пленки, такие
как барьерная пленка для защиты от электромагнитных помех и / или для увеличения
напряжения пробоя диэлектрика. Пленка также может выступать в качестве согласующего
слоя.
[0034]
ИНЖИР. 8 показывает один вариант осуществления способа для генерации акустической
энергии вдоль измерения диапазона. Могут быть предоставлены дополнительные, другие
или менее активные действия. Способ реализуется с использованием одной или нескольких
мембран 30, геометрии мод 3-1 или преобразователей 12, описанных выше со ссылкой на
фиг. 1-7, но могут использоваться другие мембраны, геометрии или преобразователи.
Мембраны смещены, например, прикладывают фиксированное, фиксированное
электрическое поле к каждой или каждой другой гибкой мембране, например, с помощью
смещения напряжения, или путем использования электретных материалов. Смещение
вызывает желаемое напряжение в мембранах.
[0035]
24-02-2019
11
В действии 80 электрическое поле прикладывается к микроэлектромеханическому
преобразователю. Электрическое поле прикладывается, по существу, параллельно
плоскости, по существу, ортогональной к измерению диапазона. Электрическое поле
распространяется по существу между двумя различными проводниками. Проводники по
существу ортогональны электрическому полю. Например, электрическое поле
распространяется между двумя мембранами или мембраной и пучком. Поскольку мембраны
и / или балки по существу расположены в геометрии моды 3-1, электрическое поле
распространяется вдоль азимутальных и / или вертикальных размеров и, по существу,
перпендикулярно размеру диапазона.
[0036]
Разница в электрическом потенциале создается. Переменный потенциал прикладывается к
соседним проводящим поверхностям, таким как смежные легированные мембраны или
балки. Например, одна проводящая поверхность заземлена, и напряжение, приложенное к
другой проводящей поверхности, изменяется, например, при подаче переменного
биполярного или униполярного сигнала. В качестве другого примера, различные
переменные сигналы подаются на соседние проводники.
[0037]
В одном варианте осуществления разные потенциалы применяются к различным линейным
ребристым или опорным структурам, каждая из которых имеет по меньшей мере две
стороны, по существу, ортогональные к электрическому полю. Каждый другой линейный
гребень или столб имеет общий электрический потенциал. Мембраны, связанные с данным
линейным гребнем или столбом, имеют общий заряд. Альтернативно, мембраны
электрически изолированы и могут иметь разные потенциалы.
[0038]
В другом варианте осуществления разные потенциалы прикладывают к балке и мембране
рядом с балкой. Мембрана практически ортогональна электрическому полю. Мембраны,
линейные гребни или стойки могут иметь общий заряд, например, линейные гребни
находятся ближе к излучающей поверхности, чем балки, и имеют потенциал земли.
Переменный сигнал подается на балки.
24-02-2019
12
[0039]
В еще одном варианте осуществления более двух разных потенциалов применяются
одновременно. Например, фиксированный потенциал (например, земля) прикладывают к
мембране. Сигналы переменного напряжения с противоположной полярностью подаются на
пучки на противоположных сторонах мембраны.
[0040]
В действии 82 акустическая энергия генерируется по существу вдоль размера диапазона в
ответ на кулоновские силы приложенного электрического поля. Одна или несколько
мембран изгибаются в ответ на разницу в потенциале. Мембраны изгибаются в режиме 3-1,
например, посредством смещения, которое, по существу, параллельно излучающей
поверхности преобразователя или элемента. Акустическая энергия отражается или
распространяется по существу вдоль измерения диапазона. Например, две мембраны
микроэлектромеханического преобразовательного элемента изгибаются или навстречу друг
другу. ИНЖИР. 9 показывает один примерный вариант осуществления различных количеств
и местоположений изгиба в ответ на различные потенциальные различия. Когда
напряжение изменяется, мембраны 30 изгибаются навстречу друг другу, генерируя
акустическую энергию параллельно электрическому полю. Акустическая энергия отражает
или иным образом распространяется вдоль практически перпендикулярного размера
диапазона.
[0041]
В тех случаях, когда расстояние между мембранами 30 или толщина мембраны
варьируются, местом изгиба можно управлять. Например, мембраны 30 являются самыми
узкими дальше от излучающей поверхности. В ответ на меньшие напряжения, сужение
обеспечивается дальше от излучающей поверхности. В ответ на возрастающие напряжения
зазор обычно распространяется вверх к излучающей поверхности, генерируя акустическую
энергию непосредственно в измерении диапазона. Мембраны 30 приближаются к
экспоненциальному рогу или другой структуре. Используя рупор, чтобы согласовать
отверстие с мембраной, можно использовать мембрану с более высоким выходным
сопротивлением. Другие структуры и операции могут быть использованы. Разрежение,
24-02-2019
13
вызванное отталкиванием мембран 30 друг от друга, также может генерировать
акустические волны в измерении диапазона. Несжимаемый материал может также
изгибаться вдоль излучающей поверхности, способствуя генерации акустической энергии по
размеру диапазона.
[0042]
ИНЖИР. 8 направлена на генерирование акустической энергии из приложенного
электрического поля. В других вариантах осуществления изменение емкости генерируется в
ответ на акустическую энергию. Одна или несколько мембран изгибаются в ответ на
акустическую энергию. Движение мембран вызывает изменение электрического потенциала
между мембранами и / или балками. Например, одна мембрана удерживается на
потенциале земли. Изгиб этой мембраны или другой мембраны вызывает изменение
потенциала заряда на других мембранах. Изменение потенциала, вызванное
изменяющейся емкостью, является аналоговым сигналом, используемым для обработки
приема.
[0043]
В другом варианте осуществления мембраны или мембрана и пучок действуют как
цифровой акустический датчик. Открытие, закрытие, разрушение или разрушение
мембраны определяется как изменение двоичного состояния. Выход
микроэлектромеханического элемента определяется как функция цифрового акустического
датчика. Из-за разного смещения, толщины мембраны или других свойств различные
мембраны разрушаются и / или открываются в ответ на различные количества акустической
энергии. Цифровой выход различных мембран обеспечивает цифровой сигнал, который
соответствует амплитуде акустической энергии.
[0044]
В еще одном варианте осуществления операция приема поддерживается или
обеспечивается отдельным устройством, таким как другой преобразователь или элемент.
Другое отдельное устройство представляет собой пьезоэлектрическую пленку, по существу,
в плоскости излучающей поверхности. Пленка воспринимает акустическую энергию,
превращая энергию в электрические сигналы.
24-02-2019
14
[0045]
Хотя изобретение было описано выше со ссылкой на различные варианты осуществления,
следует понимать, что многие изменения и модификации могут быть сделаны без
отклонения от объема изобретения. Поэтому предполагается, что вышеприведенное
подробное описание следует рассматривать как иллюстративное, а не ограничивающее, и
следует понимать, что нижеследующая формула изобретения, включая все эквиваленты,
предназначена для определения сущности и объема данного изобретения.
24-02-2019
15
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
57 Кб
Теги
kinds, 2007071272
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа